Zur Vorlesung:
Recht unüblich für eine Physik-VO geht hier eher um Verfahren, Messmethoden und Vakuumtechnik als um die Eigenschaften der Schichten an sich (das wird dann mehr in Physik dünner Schichten behandelt). Es werden viele verschiedene Verfahren zumindest kurz erklärt und auf Folien gezeigt, allerdings genauer behandelt werden eher nur die physikalischen Verfahren. Man soll sich nicht von der Frühvorlesung abschrecken lassen, es ist normalerweise einfach genug dem Stoff auch im Halbschlaf zu folgen, besonders weil in jeder neuen Stunde der Stoff aus der Vorherigen noch kurz wiederholt wird.
Zur Prüfung:
Diese ist mündlich, 3 Fragen (wie bei Physik dünner Schichten VO) und man hat zwar keine offizielle Zeitbegrenzung, aber die Prüfung sollte nicht länger als 30 min dauern. 20 min ist realistischer für gut vorbereitete Leute. Auf Formeln legt er sehr geringen Wert (ich glaube ich wurde keine einzige gefragt), aber sehr viel auf Verständnis und Zusammenhänge.
Das Prüfungsklima ist angenehm, eher eine Art Gespräch, wo der Prof. auch hier und da aushilft und man auch nochmal nachfragen kann und er die Frage nochmal anders stellt um auf die Sprünge zu helfen.
Man kann sich die Prüfung über Email ausmachen, selbst bietet er keine fixen Termine nach Semesterende an.
Meine Fragen waren:
- Sputtern und dessen Erweiterungen (Magnetron, RF-, …)
- CVD und PACVD erklären
- die verschiedenen Arten von Schichtdickenmessung und wie sie funktionieren
PS: Es gibt auch einen Schnupperkurs (https://forum.fstph.at/t/physik-duenner-schichten-ue-review/2386/1) der 3 Tage lang ist und in den man Aufdampfen selber probieren darf.
)
wie wird das Vakuum hergestellt und warum braucht man es? Wie funktioniert eine Turbomolerkularpumpe.